Microscopia de fase aplicada en perfilometrías de alta resolución

Resumen

La Tomografía de Coherencia Óptica (OCT) (Drexler & Fujimoto, 2008) es una técnica basada en la interferometría de baja coherencia y permite obtener imágenes 3D de superficies y volúmenes interiores en diversos materiales. Este artículo presenta una propuesta que tiene como objetivo desarrollar un equipo modular, como un esquema experimental en módulos adaptables a diferentes configuraciones y aplicaciones, para obtener topografías y tomografías de materiales con alta resolución espacial (por debajo del micrón). Este equipo se basa en la técnica conocida como microscopía de fase de dominio espectral (SDPM)(Ding et al., 2013), y aunque el análisis de fase es muy utilizado en interferometría convencional, solo en los últimos años se ha implementado en combinación con OCT (Larin & Sampson, 2017) en topografía de superficie (Taudt et al., 2020) y aplicaciones de tomografía de materiales (Lan et al., 2017). Se presentan las primeras mediciones con resolución espacial axial inferior al micrón en perfilometrías de superficies de muestras donde la diferencia de camino óptico varía entre 30 y 150 nm.